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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="低介電係數"


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    以電漿輔助化學氣相沈積法合成低介電係數膜及非晶矽薄膜之研究
    • /95/ 碩士
    • 研究生: 張鴻偉 指導教授: 洪儒生
    • 本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎,分為兩部分:第一部份為成長低介電係數薄膜,實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…
    • 點閱:382下載:2

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    以TDF-TEOS為先驅物利用電漿輔助化學氣相沈積系統製備含矽氟/碳氟鍵結的低介電係數膜與薄膜附著力之分析
    • /93/ 碩士
    • 研究生: 林錦川 指導教授: 洪儒生
    • 本論文的實驗採用分子結構類似TEOS的含碳氫氟長鏈和矽氧烷分子先驅物十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷基-三乙氧基矽烷 (tridecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrooctyl-t…
    • 點閱:305下載:0
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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